超精密研磨加工技術是現代高技術戰爭的重要支撐技術，是現代高科技產業和科學技術的發展基礎，是現代製造科學的發展方向。以超精密研磨加工技術支撐高效能武器，對第一次海灣戰爭（1992年）、科索沃戰爭（1996年）、阿富汗戰爭（1999年）、及第二次海灣戰爭（2003年）的程序及結果發揮了決定性作用。以超精密研磨加工技術為支撐的三代半導體器件，為電子、資訊產業的發展奠定了基礎。現代科學技術的發展以試驗為基礎，所需試驗儀器和裝置幾乎無一不需要超精密加工技術的支撐。由宏觀製造進入微觀製造是未來製造業發展趨勢之一，當前超精密加工已進入奈米尺度，納米制造是超精密加工較前沿課題。世界發達國家均予以高度重視。各國啟動的研究計劃包括，2001年美國的NNT（National nanotechnologyinitiave）計劃、英國的多學科奈米研究計劃IRC（Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology），2002年日本的奈米技術支撐計劃。目前的超精密加工，以不改變工件材料物理效能為前提，以獲得極限的形狀精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性（無或較少的表面損傷，包括微裂紋等缺陷、殘餘應力、組織變化）為目標。

超精密加工的研究內容，既影響超精密加工精度的各種因素包括：超精密加工機理、被加工材料、超精密加工裝置、超精密加工工具、超精密加工夾具、超精密加工的檢測與誤差補償、超精密加工環境：（包括恆溫、隔振、潔淨控制等）和超精密加工工藝等。一直以來國外學者圍繞這些內容展開了研究。