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正矽酸乙酯——從氣凝膠矽源延伸至電子特氣材料

金宏氣體研發的電子級TEOS產品以金屬離子計已經達到了9N產品等級，預計將於2022年上半年開展大規模生產，為國內積體電路電子材料以國產代替進口，實現自主可控等方面做出新的貢獻...